半导体行业废气主要来源于制造过程中的各个环节，特别是芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程。由于使用大量的化学药剂导致挥发大量有机废气成分复杂多样，其中包含酸碱废气、有机废气和有毒气体。

此外，还有一些特定工序如晶体外延、干法刻蚀及CVD等，会使用到硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)等具有毒害性、窒息性及腐蚀性的高纯特殊气体，这些废气如果未经处理直接排放到大气中，会对环境造成严重的污染，甚至影响人体健康。因此，需要采用高效的废气治理技术（如砷磷烷吸附塔），对半导体行业特殊废气进行净化处理达到国家排放要求。

接下来给九州BET9官网（中国）有限公司小编会给大家详细讲解一下在半导体行业中特殊废气是如何治理的，这里需要使用到一个重要的处理设备——砷磷烷吸附塔。

砷磷烷吸附塔在半导体废气治理中的应用

什么是砷磷烷吸附塔？

砷磷烷吸附塔是专门针对半导体掺杂制程工序中产生的砷烷、磷烷四氟化碳等有毒废气设计的治理设备。该设备利用化学反应、复分解反应等基本原理，与废气中的有害物质发生化学反应，生成无毒无害的化合物或复合物。这些化合物或复合物还可直接用于修路、垃圾填埋等，实现了废气的资源化利用，避免了二次污染。

砷磷烷干式吸附塔采用纳米级的吸附剂作为反应剂，砷化氢、磷化氢、乙硼烷等气体被吸附剂分子栓结构有效吸附，吸附剂将有害气体强迫反应成固化物 ，处理效率高达99% 。砷磷烷吸附塔通常配置一用一备模式，以确保连续稳定的废气处理。吸附后的废气通过末端风机负压达标排放，确保废气处理的效果满足环保要求。

砷磷烷吸附塔的关键点在于吸附剂的选择和使用，其内部结构可分为初效吸附剂和主反应药剂两个部分，而根据结构形式的不同，砷磷烷吸附塔又可分为立式和卧式两种。立式吸附塔侧进上出，卧式吸附塔侧进侧出。

总的来说，砷磷烷吸附塔治理工艺是一种高效、环保的废气处理技术，能有效处理半导体行业产生的有毒有害废气，满足日益严格的环保排放标准。