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半导体行业VOCs治理解决方案
项目背景

业主是一家全球排名前列的半导体设计公司,位于上海,现有五条现有生产线和四条拟建生产线,包括晶圆彩色滤光片和微镜头封装生产线,产生酸性、碱性和VOCs废气,废气成分:丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单丁醚等,风量:20000m³/h,废气浓度:200mg/m³。

治理工艺

沸石转轮+TO(一用一备)

浓缩倍数

20倍

产品信息

设计方案:

废气经主工艺风机输送至沸石转轮,废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中,由脱附风机输送的热空气将VOCs从沸石中脱附出来,再由TO风机输送至TO反应器中,被氧化成CO2和H2O,达标排放至大气中。


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验收情况:

经过第三方检测,处理后的废气浓度满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)相关污染物排放标准的要求。


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