随着信息化时代的到来，半导体行业也在迅速发展，半导体给社会带来的经济效益及就业率有目共睹，但随之而来的环境问题也不容忽视。

半导体废气来源

半导体行业废气主要来自于半导体设备、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用的溶剂型涂料、清洗工艺使用的有机脱脂剂、脱水剂，感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂的工艺环节。

半导体废气特征

半导体行业产生的废气具有风量大、浓度低的特点。废气种类繁多，成分复杂，常见成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇单甲醚、环己酮、正庚烷、甲基氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等，通常分为酸碱废气、有机废气和有毒气体，其中砷烷、磷烷等有毒废气具有极强的毒性和腐蚀性。如果不处理这些废气，不仅会对周围环境产生较大危害，还会严重影响工人健康，长时间接触这些气体，会对肺部和皮肤黏膜产生刺激作用，从而导致呼吸道和皮肤疾病。

因此，需要采用高效的废气治理技术，对半导体行业VOCs废气进行净化处理后达到排放要求。

半导体废气处理方法有那些？　

针对半导体废气的特性，治理工艺的选择至关重要。

酸碱废气：一般采用碱液吸收和酸液吸收进行处理；

有机废气：可采用吸附法、吸收法、直接燃烧法、催化燃烧法、冷凝法等多种工艺；

有毒废气：对于砷烷、磷烷等有毒废气，则可采用砷磷烷吸附塔进行高效处理。

此外，针对半导体产线中不同工艺环节产生的废气，还需结合实际情况进行工艺优化和组合。例如，在PECVD工艺中，可采用不锈钢燃烧筒、硅烷燃烧洗涤塔和氨气洗涤塔等组合工艺，实现对硅烷和氨气的高效去除；在丝网印刷工艺中，可采用活性炭纤维吸附塔对有机废气进行净化处理。

国家对于半导体废气治理的态度

随着环保意识的增强和法规的日益严格，国家对半导体废气治理的重视程度不断提高。一方面，加大了对废气治理技术研发的投入，推动废气治理技术的不断创新和升级；另一方面，制定了一系列严格的排放标准，要求半导体企业必须采取有效的治理措施，确保废气排放达标，为废气治理市场的健康发展提供了有力保障。

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