随着信息技术的飞速发展，半导体产业作为电子工业的核心，呈现出蓬勃的发展态势。目前，半导体技术已经渗透到通信、计算机、消费电子、汽车电子等多个领域，成为推动现代社会进步的重要力量。

半导体废气处理难点

难点一：尾气组分复杂难以处理

由于半导体生产过程中使用的化学物品种类繁多，所以废气排放中的组分也难以预测和控制。

难点二：高效处理难以达到

由于半导体废气中含有的有害气体浓度较低，处理难度较大。在处理半导体废气时，需要使用高效的处理技术，对尾气进行充分的分解和过滤，以达到排放标准。

难点三：成本高难以承受

半导体生产企业通常需要在处理半导体废气时进行大量的投资和人力资源的投入，这也是半导体尾气处理难以承受的另一个因素。

半导体废气处理案例，节约运成本

半导体废气处理项目背景

此次项目的业主是一家集芯片设计、晶圆制造和封装测试于一体的半导体企业，总部位于北京亦庄经济开发区。2016年在北京投建8英寸晶圆生产线，九州BET9官网（中国）有限公司凭借多年的VOCs治理经验和可靠的技术赢得客户信赖，为客户提供两套沸石转轮+TO工艺（一用一备）用于半导体废气处理，并和产线于2019年一同投运。自半导体废气处理项目验收以来，系统稳定运行，持续达标排放，满足国家排放要求。随着产能提升，现有系统（一用一备）无法满足生产需求，需要增加一套沸石转轮+TO系统治理半导体废气处理，与现有系统组成两用一备，以满足正常生产。

半导体废气处理废气参数

半导体废气处理废气风量：50000m³/h

半导体废气处理废气浓度：100mg/m³

半导体废气处理废气成分：PGME、PGMEA、IPA、丙酮等非甲烷总烃

半导体废气处理设计方案

半导体废气处理工艺：沸石转轮浓缩+TO（与现有系统组合成两用一备）

半导体废气处理浓缩倍数：20倍

半导体废气处理工艺路线

半导体废气经主工艺风机输送至沸石转轮，半导体废气中的VOCs被沸石吸附后达标排放至大气中。再由脱附风机输送的热空气将VOCs从沸石中脱附出来，再由TO风机输送至TO反应器中，被氧化成CO₂和H₂O，达标排放至大气中。

半导体废气处理喜迎验收

近日，该项目喜迎验收。

第三方检测机构对治理效果进行了全面检测和评估，治理后的非甲烷总烃排放浓度≤7mg/m³，处理效率89%，满足上海市DB31/374-2006《半导体行业污染物排放标准》，确保了半导体生产过程中的环境安全和健康。

未来，九州BET9官网（中国）有限公司将继续秉承“感恩、卓越、真诚、热爱”的企业理念，不断提升自身技术和服务水平，为更多企业和行业提供高效、可靠的VOCs治理解决方案，共同推动环保事业的发展。