芯片作为电子产品核心部件，随着电子产品的应用越来越广泛，芯片的需求量在不断增长。但芯片生产过程中会产生多种废气，这些废气的主要来源包括化学清洗、光刻、蚀刻、沉积和掺杂等工艺环节。废气成分复杂。为了满足国家排放标准，芯片生产废气需要采取有效的处理方法。

近日，九州BET9官网（中国）有限公司项目一线传来捷报，我们又一芯片生产废气处理项目完成验收，一起来看！

芯片生产废气处理方法概述

芯片生产废气处理项目地点：江苏省江阴市

芯片生产废气处理项目名称：江苏某芯片生产废气处理方法

芯片生产废气处理项目背景

业主是江苏省一家从事芯片研发、生产、销售和服务的企业，目前拥有一条5英寸与6英寸芯片生产线。在芯片生产过程中车间产生大风量低浓度有机废气，风量为40000m³/h，浓度为200mg/m³，主要成分是异丙醇、丙酮、混合二甲苯。

芯片生产废气处理方法

治理工艺：前处理+沸石转轮+RTO

浓缩倍数：20倍

芯片生产废气处理方法工艺路线

芯片生产废气经主工艺风机进入前处理，去除酸性气体、大颗粒物及对沸石转轮有害物质，预处理之后的芯片生产废气随后输送至转轮吸附浓缩装置，芯片废气中的VOCs成分被沸石吸收后达标排放。沸石转轮吸附的VOCs物质经高温脱附进入三塔RTO，高浓度废气在RTO中被加热至800℃以上，燃烧成为二氧化碳和水，排放至大气。

经芯片生产废气处理方法后的挥发性有机物排放浓度低于20mg/m³，目前已顺利投产，并稳定运行。芯片生产废气验收标志着九州BET9官网（中国）有限公司在芯片生产废气处理领域的专业技术实力再获认可，实现了企业环境保护和经济发展的双赢，让我们一起走进现场为芯片生产废气处理项目喝彩！